PlasCalc等離子體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

2019/08/07

　　PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀

　　PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量，通過高級(jí)過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。

　　特點(diǎn)

　　光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)

　　光譜范圍 200-1100nm

　　快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法

　　Recipe編輯器

　　Recipe編輯器有助于簡(jiǎn)單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對(duì)一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測(cè)量、等離子體蝕刻監(jiān)測(cè)、表面潔度監(jiān)測(cè)、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測(cè)等，能夠快速簡(jiǎn)單的構(gòu)建模塊過程控制。

　　多種工具用于等離子體診斷

　　隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能?？蛇x的波長(zhǎng)發(fā)生器（可以單獨(dú)購(gòu)買）用于類型確認(rèn)，而波長(zhǎng)編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過程控制信息。

　　PlasCalc 配置說明