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VUVas2000真空紫外光譜儀
2019/08/07
VUVaS 2000 雙光束真空紫外光譜儀是McPherson 公司推出的世界領(lǐng)先的檢測不同種類(lèi)的材料在真空紫外波段（115-380nm 波長(cháng)范圍)的吸收譜、透射譜和反射譜的檢測儀器?？梢愿鶕脩?hù)的要求定制不同規格的樣品室和樣品架，測量不同大小、不同厚度的樣品，并可進(jìn)一步選擇偏振和熒光發(fā)射測量，為不同材料在真空紫外波段的研究與應用提供最先進(jìn)的測試手段。由于VUVaS 2000 型真空紫外光譜儀采用的是真空斬波和鎖相放大技術(shù)從而極大地提高了信號檢測的靈敏度和信躁比，是目前在這個(gè)波段開(kāi)展上述弱信號測量國際最領(lǐng)先的儀器產(chǎn)品。
【參數表】
1. 光學(xué)特征
光度精確度 | （157nm處）≤0.05%T(RSD) |
光度準確度 | (115nm-380nm) ≤0.3%T(RSD) 標準0.2%T（RSD） |
光學(xué)穩定性 | 0.5%T/小時(shí) |
光學(xué)噪聲 | 優(yōu)于0.17%T |
2．光譜特征
波長(cháng)范圍 | 氘燈連續光源提供波長(cháng)115nm-380nm |
單色儀 | McPherson公司改進(jìn)的Seya-Namioka Model 234/302單色儀 |
光柵 | III型鍍MgF2 的凹面全息光柵，1200刻線(xiàn)/毫米 |
相對孔徑 | f/4.5 |
波長(cháng)準確度 | 0.1nm |
波長(cháng)重復性 | ±0.03nm |
分辨率 | 0.01mm狹縫分辨率為0.1nm |
帶通 | 帶通寬度隨狹縫寬度改變從0.1nm-10nm可調 |
3．樣品測量
光束 | 校準/可變 |
斬波器 | 反射型斬波器（標準工作頻率為90Hz） |
探測器 | R268型光電倍增管 |
測量方式 | 透射譜（吸收譜）、反射譜、散射譜、激發(fā)譜 |
探測器位置 | 相對于發(fā)射光束成20°-180°角 |
樣品位置 | 相對于發(fā)射光束成0°-90°角 |
樣品架尺寸 | 可容納1英寸直徑或2x2英寸或2英寸直徑的樣品（根據要求訂制） |
濾光片 | 5個(gè)可放25mm直徑濾光片的位置 |
配件 | 225nm長(cháng)通濾光片用于230nm-380nm的光譜范圍 |
4.真空系統
真空泵 | 兩個(gè)渦輪分子泵，閘式閥門(mén)控制凈化樣品區域 |
真空范圍 | 典型工作壓力為10-5torr,樣品區可被單獨凈化 |
5．控制系統
控制器 | LabView windows軟件用于波長(cháng)控制和信號恢復，圖形式/數字式輸出反射譜及透射譜信號 |
輸入電壓 | 220 V / 15 安培 / 50 Hz |
工作環(huán)境 | 一般實(shí)驗室環(huán)境 |