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ATLEX-500-I準(zhǔn)分子激光器
2024/07/01
德國(guó)ATL Lasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖準(zhǔn)分子激光器，并在該領(lǐng)域保持技術(shù)領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品應(yīng)用：
· 微機(jī)械加工
· 激光燒蝕
· 光譜學(xué)
· 計(jì)量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
ATLEX-500-I 產(chǎn)品參數(shù) | ||||||
氣體介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | 單位 |
波長(zhǎng) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | |||||
最大脈沖能量1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
最大平均功率 | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | W |
最大重復(fù)頻率 | 500 | Hz | ||||
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | ||||
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差） | < 3 | % | ||||
尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
重量 | 60 | kg | ||||
冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | |||||
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |||||
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM