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BeamMap2-CM狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀
2022/10/12
產(chǎn)品型號：BeamMap2-CM
產(chǎn)品ID：S-BMS2-CM4-Si-5
品牌名稱(chēng)：美國Dataray
DataRay的BeamMap2代表了一種完全不同的實(shí)時(shí)光束分析方法。它通過(guò)允許沿光束行程的多個(gè)位置進(jìn)行測量，擴展了Beam'R2的測量功能。這種實(shí)時(shí)狹縫掃描系統在旋轉圓盤(pán)上的多個(gè)z平面中使用XY狹縫對，以同時(shí)測量四個(gè)不同z位置處的四個(gè)光束輪廓。 BeamMap2獨特的專(zhuān)利設計最適用于焦點(diǎn)位置，M2，光束發(fā)散和指向的實(shí)時(shí)測量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 190至1150 nm，Si探測器
· 650至1800 nm，InGaAs 探測器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（擴展）探測器
· 光束直徑~100 μm至~3 mm（1.5 mm加長(cháng)InGaAs）
· 25 μm狹縫對與Si；0.1到2 μm采樣間隔
· 50 μm狹縫對，帶 InGaAs；0.1到2 μm采樣間隔
· 實(shí)時(shí)±1 mr實(shí)時(shí)發(fā)散和指向測量精度
· 端口供電，USB2.0，靈活的3米電纜，沒(méi)有電源磚
· 0.1 μm采樣和分辨率
· 線(xiàn)性和對數X-Y輪廓
· 輪廓縮放和狹縫寬度補償
· 實(shí)時(shí)多Z平面掃描狹縫系統
· 實(shí)時(shí)XYZ輪廓，焦點(diǎn)位置
· 實(shí)時(shí)M2、發(fā)散、準直、對準
產(chǎn)品參數：
產(chǎn)品參數 | |
波長(cháng) | Si detector: 190 to 1150 nm InGaAs detector: 650 to 1800 nm Si + InGaAs detectors: 190 to 1800 nm Si + InGaAs (extended) detectors: 190 to 2300 or 2500 nm |
掃描光束直徑 | Si detector: 5 μm to 4 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode* InGaAs detector: 10 μm to 3 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode* InGaAs (extended) detector: 10 μm to 2 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode* |
平面間距（CM4 models） | 5 mm: -5, 0, +5, +20 mm |
平面間距 (CM3 models) | 10 mm: -10, 0, +10, 0 mm |
束腰直徑測量 | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat 1/e2 (13.5%) width User selectable % of peak Knife-Edge mode* for very small beams |
束腰位置測量 | 在 X、Y 和 Z 方向上 ± 20 μm 最佳 |
測量源 | 連續波；脈沖激光，Φ μm ≥ [500/(PRR in kHz)] |
分辨率精度 | 0.1 μm或掃描范圍的0.05%±< 2% ± = 0.5 μm |
M2 測量 | 1 to > 20, ± 5% |
發(fā)散/準直，指向 | 1 mrad最好 |
最大功率和輻照度 | 1 W Total & 0.5 mW/μm2 |
增益范圍 | 1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range |
顯示圖形 | X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16 |
更新率 | ~5 Hz |
平均 | 用戶(hù)可選擇運行平均值（1 到 8 個(gè)樣本） |
最低電腦要求 | Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port |
* Knife-Edge mode需要 CM3 型號