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BeamMap2狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀

2022/10/12

產(chǎn)品型號:BeamMap2

產(chǎn)品ID:S-BMS2-4XY-Si-250

品牌名稱(chēng):美國Dataray

 

DataRay的BeamMap2代表了一種完全不同的實(shí)時(shí)光束分析方法。 它通過(guò)允許沿光束行程的多個(gè)位置進(jìn)行測量,擴展了Beam'R2的測量功能。 這種實(shí)時(shí)狹縫掃描系統在旋轉圓盤(pán)上的多個(gè)z平面中使用XY狹縫對,以同時(shí)測量四個(gè)不同z位置處的四個(gè)光束輪廓。 BeamMap2獨特的專(zhuān)利設計最適用于焦點(diǎn)位置,M2,光束發(fā)散和指向的實(shí)時(shí)測量。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

 

· 190至1150 nm,Si探測器

· 650至1800 nm,InGaAs探測器

· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(擴展)測器

· 提供多種平面間距選項

· 光束直徑為5μm至4mm

· 端口供電,USB2.0,靈活的3米電纜,沒(méi)有電源磚

· 0.1μm采樣和分辨率

· 線(xiàn)性和對數X-Y輪廓

· 輪廓縮放和狹縫寬度補償

· 實(shí)時(shí)多Z平面掃描狹縫系統

· 實(shí)時(shí) XYZ輪廓,焦點(diǎn)位置

· 實(shí)時(shí)M2、發(fā)散、準直、對準

 

產(chǎn)品參數:

產(chǎn)品參數


波長(cháng)

Si detector: 190 to 1150 nm

InGaAs detector: 650 to 1800 nm

Si + InGaAs detectors: 190 to 1800 nm

Si + InGaAs (extended) detectors: 190 to 2300 or 2500 nm

掃描光束直徑

Si detector: 5 μm to 4 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode*

InGaAs detector: 10 μm to 3 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode*

InGaAs (extended) detector: 10 μm to 2 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode*

平面間距(4XYmodels

100 μm: -100, 0, +100, +400 μm

250 μm: -250, 0, +250, +1000 μm

500 μm: -500, 0, +500, +2000 μm

750 μm: -750, 0, +750, +3000 μm

平面間距(3XYKE models)

50 μm: -50, 0, +50, 0 μm

100 μm: -100, 0, +100, 0 μm

束腰直徑測量

Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat

1/e2 (13.5%) width

User selectable % of peak

Knife-Edge mode* for very small beams

束腰位置測量

X、Y 和 Z 方向上 ± 20 μm 最佳

測量源

連續波;脈沖激光,F μm = [500/(PRR in kHz)]

分辨率精度

0.1μm或掃描范圍的 0.05%±<2%±= 0.5 μm

M2 測量

1 to > 20, ± 5%

發(fā)散/準直,指向

1 mrad最好

最大功率和輻照度

1 W Total & 0.5 mW/μm2

增益范圍

1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range

顯示圖形

X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16

更新率

~5 Hz

平均

用戶(hù)可選擇運行平均值(1 到 8 個(gè)樣本)

最低電腦要求

Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port

* Knife-Edge mode需要 3XYKE 型號


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