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ATLEX-1000-L準(zhǔn)分子激光器
2024/07/01
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 電暈預(yù)電離
· 固態(tài)開關(guān)
· 延長(zhǎng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）
· 激光頭容積6 L
· 全部風(fēng)冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統(tǒng)，便于氣體處理
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)，符合RoHS規(guī)范
· 模塊化設(shè)計(jì)/服務(wù)友好
產(chǎn)品參數(shù)：
ATLEX-1000-L產(chǎn)品參數(shù) | |||
氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 |
波長(zhǎng) | 193 | 248 | nm |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||
最大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 8.0 | 10.0 | W |
最大重復(fù)頻率 | 1000 | Hz | |
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
光束發(fā)散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差） | < 2 | % | |
尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | 600 x 415 x 567 | mm | |
重量 | 70 | kg | |
冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | ||
電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | ||
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM