ATLEX-300-FBG準分子激光器
2024/07/01
德國ATL Lasertechnik生產的ATLEX-FBG系列專為FBG 刻寫設計,具備出色的空間相干性指標。
產品特點:
· 軟電暈預電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷,主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· 符合RoHS規(guī)范
產品參數:
ATLEX-300-FBG產品參數 | |||
氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
波長 | 193 | 248 | nm |
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | ||
最大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 2.4 | 4.0 | W |
空間相干性(垂直波束方向) | >300 | >300 | μm |
最大重復頻率 | 300 | Hz | |
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量穩(wěn)定性(標準偏差) | < 3 | % | |
尺寸(長x寬x高) | 540 x 470 x 370 | mm | |
重量 | 60 | kg | |
冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | ||
電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz |
所有規(guī)格均為典型數據,如有因產品改進而更改的,恕不另行通知。
1 在最低重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM