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ATLEX-300-FBG準分子激光器

2024/07/01

德國ATL Lasertechnik生產的ATLEX-FBG系列專為FBG 刻寫設計,具備出色的空間相干性指標。

 

產品特點:

 

· 軟電暈預電離

· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

· 激光頭容積 < 3L

· TMC(全金屬陶瓷)管路

· 集成真空泵和鹵素過濾器

· 全部風冷,主動熱管理

· RS-485、RS232、USB光纖接口

· 可沖洗光具座

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標準

· 符合RoHS規(guī)范

 

產品參數:

 

ATLEX-300-FBG產品參數

氣體介質

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關技術

固態(tài)開關


最大脈沖能量1

10

15

mJ

最大平均功率

 2.4

 4.0

 W

空間相干性(垂直波束方向)

>300

>300

μm

最大重復頻率

 300

 Hz

脈沖寬度2

5 – 8

ns

光束尺寸2(V x H)

4 x 6

mm

光束發(fā)散角2(V x H)

1 x 2

mrad

能量穩(wěn)定性(標準偏差)

< 3

%

尺寸(長x寬x高)

540 x 470 x 370

mm

重量

60

kg

冷卻

Cooling Air / Optional Liquid


電力需求

230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz


所有規(guī)格均為典型數據,如有因產品改進而更改的,恕不另行通知。

1 在最低重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。

2 典型值,FWHM



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