產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品展示Product
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ATLEX-S OEM用準分子激光器
2024/07/01
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設計用于低、中占空比的OEM應用。
產(chǎn)品特點：
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預電離技術
· HV-固態(tài)脈沖發(fā)生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷，溫度控制
· 系統(tǒng)集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光學鏡架
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· RoHS認證
產(chǎn)品應用：
· 光譜學
· 微加工
· 測試和測量
產(chǎn)品參數(shù)：
ATLEX-S產(chǎn)品參數(shù) | |||||
氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 | ||
波長 | 193 | 248 | nm | ||
高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | 固態(tài)開關 | |||
最大重復頻率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
最大脈沖能量1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |||
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |||
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
能量穩(wěn)定性（標準偏差） | < 3 | % | |||
尺寸（長x寬x高） | 630 x 400 x 300 | mm | |||
重量 | 65 | kg | |||
冷卻 | Air | ||||
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | ||||
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復頻率情況下測得： 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM