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ATLEX-LR準(zhǔn)分子激光器
2024/07/01
ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設(shè)計(jì)；激光為193nm 輸出優(yōu)化，同時(shí)具有非?？斓纳仙睾透叻逯倒β?。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品參數(shù)：
ATLEX-LR產(chǎn)品參數(shù) | ||
氣體介質(zhì) | ArF | 單位 |
波長(zhǎng) | 193 | nm |
最大脈沖能量1 | 12 | mJ |
能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出 | 10 | mJ |
脈沖寬度2 | 5 | ns |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm |
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad |
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差） | < 2 | % |
尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | 540 x 470 x 370 | mm |
重量 | 60 | kg |
冷卻 | Air | |
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM