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ATLEX-500-FBG準(zhǔn)分子激光器
2024/07/01
德國ATL Lasertechnik生產(chǎn)的ATLEX-FBG系列專為FBG 刻寫設(shè)計(jì)，具備出色的空間相干性指標(biāo)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品參數(shù)：
ATLEX-500-FBG產(chǎn)品參數(shù) | |||
氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 |
波長 | 193 | 248 | nm |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||
最大脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
空間相干性（垂直波束方向） | >300 | >300 | μm |
最大重復(fù)頻率 | 500 | Hz | |
脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差） | < 3 | % | |
尺寸（長x寬x高） | 540 x 470 x 370 | mm | |
重量 | 60 | kg | |
冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | ||
電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | ||
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM